유진테크가 일본 코쿠사이와의 반도체 공정용 원자층증착(ALD) 장비 특허분쟁에서 또 한 번 승기를 잡았다. 특허법원은 15일 코쿠사이의 특허 '반도체 장치의 제조 방법, 기판 처리장치 및 프로그램'에 대해 무효 판결을 내렸다. 앞서 특허심판원이 유효로 판단했던 결론을 특허법원이 뒤집은 것이다. 유진테크는 이번 판결로 코쿠사이 특허 무효화 실적을 추가로 쌓게 됐다.
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